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固化爐的工作原理和操作流程

發(fā)布日期: 2023-02-24
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   真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專(zhuān)用設(shè)備,烘箱溫度最高可達(dá)450°c
  固化爐的工作原理和操作流程:
  1、固化爐工作原理
  以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源,利用風(fēng)機(jī)對(duì)加熱總成對(duì)流換氣的方式加熱空氣,通過(guò)熱空氣與物料的熱量傳遞,空氣通過(guò)進(jìn)風(fēng)口不斷補(bǔ)充,濕空氣排出箱外,使?fàn)t內(nèi)的溫度不斷提高,模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
  2、固化爐開(kāi)機(jī)前準(zhǔn)備
  ①崗位操作人員開(kāi)機(jī)前首先必須熟悉本機(jī)的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識(shí)。
 ?、跈z查設(shè)備的狀態(tài)標(biāo)志及衛(wèi)生清潔狀況。
  ③檢查電器系統(tǒng)是否完好,電動(dòng)機(jī)是有無(wú)受潮漏電。
  3、固化爐操作過(guò)程
 ?、偈紫葘⑴_(tái)車(chē)及爐內(nèi)部清洗干凈。
 ?、诖蜷_(kāi)供電設(shè)備電源開(kāi)關(guān)、打開(kāi)設(shè)備“電源開(kāi)關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
  ③打開(kāi)爐門(mén),將模具及物料放上臺(tái)車(chē)推入烘爐內(nèi),關(guān)閉爐門(mén)。
 ?、茉O(shè)定烘爐溫度,并打開(kāi)烘爐“風(fēng)機(jī)”及“升溫”按鈕。
 ?、葸_(dá)到固化時(shí)間打開(kāi)爐門(mén),將臺(tái)車(chē)推出爐門(mén),取出固化后的物料。
 ?、蕻?dāng)工作結(jié)束時(shí),分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機(jī)”按鈕,使加熱系統(tǒng)、鼓風(fēng)系統(tǒng)停止工作。
  ⑦最后關(guān)閉“電源開(kāi)關(guān)”旋鈕,合上總閘,打開(kāi)爐門(mén),取出已烘干的物料,工作程序結(jié)束。
  4、固化爐操作注意事項(xiàng)
  ①烘爐安裝場(chǎng)地應(yīng)平整、光滑。
 ?、陔娖骺刂迫藛T有專(zhuān)業(yè)的管理和維修;當(dāng)爐箱不用時(shí),應(yīng)切斷電源,確保安全。
  ③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi),以免發(fā)生安全事故。
  以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程,希望以上知識(shí)對(duì)您有所幫助!
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